Fysica-geïnformeerde generatieve AI voor halfgeleiderproductie: harde fysieke beperkingen structureel afdwingen in generatieve modellen

Generatieve modellen worden steeds vaker ingezet om ontwerpen, data en sturingsacties voor fysieke systemen voor te stellen, maar veel van zulke systemen worden beheerst door harde fysieke beperkingen in plaats van louter perceptuele plausibiliteit. Halfgeleiderproductie vormt een veeleisende testcase: gegenereerde maskers, lay-outs, synthetische defectdata en procesrecepten moeten voldoen aan lithografie-, transport-, reactie- en apparaatfysica-beperkingen — fysiek ongeldige monsters zijn simpelweg onbruikbaar.